| Makale Türü | Özgün Makale (SSCI, AHCI, SCI, SCI-Exp dergilerinde yayınlanan tam makale) | ||
| Dergi Adı | Materials Science in Semiconductor Processing | ||
| Dergi ISSN | 1369-8001 Wos Dergi Scopus Dergi | ||
| Dergi Tarandığı Indeksler | SCI-Expanded | ||
| Makale Dili | İngilizce | Basım Tarihi | 08-2017 |
| Cilt / Sayı / Sayfa | 71 / 0 / 382–388 | DOI | 10.1016/j.mssp.2017.08.036 |
| Dergi Adı | MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING |
| Yayıncı | Elsevier Ltd |
| Açık Erişim | Hayır |
| ISSN | 1369-8001 |
| E-ISSN | 1873-4081 |
| CiteScore | 8,4 |
| SJR | 0,785 |
| SNIP | 1,086 |