| Makale Türü | Özgün Makale |
| Makale Alt Türü | SSCI, AHCI, SCI, SCI-Exp dergilerinde yayınlanan tam makale |
| Dergi Adı | Materials Science in Semiconductor Processing |
| Dergi ISSN | 1369-8001 Wos Dergi Scopus Dergi |
| Dergi Tarandığı Indeksler | SCI-Expanded |
| Makale Dili | İngilizce |
| Basım Tarihi | 03-2015 |
| Cilt No | 31 |
| Sayfalar | 363 / 371 |
| DOI Numarası | 10.1016/j.mssp.2014.12.020 |
| Makale Linki | http://linkinghub.elsevier.com/retrieve/pii/S1369800114007112 |
| Dergi Adı | MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING |
| Yayıncı | Elsevier Ltd |
| Açık Erişim | Hayır |
| ISSN | 1369-8001 |
| E-ISSN | 1873-4081 |
| CiteScore | 8,4 |
| SJR | 0,785 |
| SNIP | 1,086 |