| Makale Türü | Özgün Makale (SSCI, AHCI, SCI, SCI-Exp dergilerinde yayınlanan tam makale) | ||
| Dergi Adı | Materials Science in Semiconductor Processing (Q1) | ||
| Dergi ISSN | 1369-8001 Dergi Bilgileri (2015) | ||
| Dergi Tarandığı Indeksler | SCI-Expanded | ||
| Makale Dili | İngilizce | Basım Tarihi | 03-2015 |
| Cilt / Sayı / Sayfa | 31 / 0 / 363–371 | DOI | 10.1016/j.mssp.2014.12.020 |
| Makale Linki | http://linkinghub.elsevier.com/retrieve/pii/S1369800114007112 | ||
| UAK Araştırma Alanları |
Yarı İletkenler
|
||
| Dergi Adı | MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING |
| Kısa Adı | MAT SCI SEMICON PROC |
| Yayıncı | ELSEVIER SCI LTD |
| Açık Erişim | Hayır |
| ISSN | 1369-8001 |
| E-ISSN | 1873-4081 |
| Wos Quartile | Q1 |
| Scopus Quartile | Q2 |
| Tarandığı Indeksler | SCIE , Scopus |
| WoS Kategoriler | ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC | MATERIALS SCIENCE, MULTIDISCIPLINARY | PHYSICS, APPLIED | PHYSICS, CONDENSED MATTER |
| Scopus Kategoriler | CONDENSED MATTER PHYSICS | MATERIALS SCIENCE (MISCELLANEOUS) | MECHANICAL ENGINEERING | MECHANICS OF MATERIALS |