| Makale Türü | Özgün Makale (SSCI, AHCI, SCI, SCI-Exp dergilerinde yayınlanan tam makale) | ||
| Dergi Adı | Materials Science in Semiconductor Processing | ||
| Dergi Tarandığı Indeksler | SCI-Expanded | ||
| Makale Dili | İngilizce | Basım Tarihi | 04-2014 |
| Cilt / Sayı / Sayfa | – / 20 / 35–40 | DOI | – |
| Makale Linki | http://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S1369800113003867 | ||