| Makale Türü | Özgün Makale |
| Makale Alt Türü | SSCI, AHCI, SCI, SCI-Exp dergilerinde yayınlanan tam makale |
| Dergi Adı | Materials Science in Semiconductor Processing |
| Dergi Tarandığı Indeksler | SCI-Expanded |
| Makale Dili | İngilizce |
| Basım Tarihi | 04-2014 |
| Sayı | 20 |
| Sayfalar | 35 / 40 |
| Makale Linki | http://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S1369800113003867 |